哈氏腔體因生產加工過程中表面容易油漬等附著物，常用的清洗溶劑包括含洗滌劑的水、石油分餾物、稀酸、堿、有機溶劑、不同金屬清洗劑等。根據表面附著物的不同，需要用不同的溶劑進行清洗，如銹蝕物需要用酸性金屬清洗劑，礦物油脂需要用有機溶劑等。

　　1、超聲波清洗

　　超聲波清洗是利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進流作用對液體和污物直接、間接的作用，使污物層被分散、乳化、剝離而實現清洗目的。

　　2、電解侵蝕清洗

　　電解侵蝕清洗類似于電解拋光，是指在溶劑中利用電解作用，清洗金屬部件表面上的薄銹或氧化膜等污染物，主要用于化學穩定性較高的哈氏腔體合金部件，如不銹鋼，耐熱鋼等。

　　3、蒸汽脫脂清洗

　　蒸氣脫脂指被粘物表面用蒸氣不斷清洗以到脫脂的目的，適用于表面類脂膜和油脂膜的清洗，操作方法簡單，可以實現大批量清洗。一些帶有牢固附著物或污染較為嚴重的基片在擦洗或超聲波清洗后，用蒸汽脫脂清洗可以有一個不錯的清洗效果。

　　4、放電清洗

　　放電清洗一般用于哈氏腔體清洗中，放電清洗的效果取決于電機材料、幾何形狀及其與表面的關系，利用電子轟擊氣體造成解吸以及某些碳氫化合物的清理。

　　5、氮氣清洗

　　氮氣清洗主要是利用了氮氣在材料表面的吸附熱小、吸留時間短，容易被抽走的特性，用氮氣沖洗被污染的真空系統，同時擠占水氣等其他氣體分子的粘附空間，縮短真空系統的抽氣時間。
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